|
|||||
|
|
| 硅基质上图案化金膜的制备 | |
| 作者单位： | ;1.新疆大学化学化工学院;2.陕西师范大学化学与材料科学学院 |
| 摘 要： | 介绍了一项材料化学综合实验。该实验利用紫外光刻技术在硅基底上制备出图案化的金膜,采用冷热台偏光显微镜对硅片上图形的质量进行检查。通过该实验,不仅可以了解光刻技术的相关基础知识,掌握图案化金膜的常见制备方法和常用表征手段,还能在后续的实验中以图案化Au膜作为模板,设计制备出多种图案化的半导体、聚合物纳米结构。该实验可以在本科生及研究生实验教学中推广。 |
| 关 键 词： | 图案 金膜 光刻 硅基质 |
Fabrication of patterned Au film by photolithography on Si substrate |
|
| Abstract: | |
| Keywords: | |