Silvaco TCAD仿真在《微电子工艺》实验教学中的应用

为支撑微电子工艺实验课程建设，采用Silvaco TCAD半导体工艺及器件仿真软件，加强学生对微电子工艺中氧化、掺杂、离子注入、光刻等工艺的直观理解，搭建了从网格建设、工艺仿真、PN结分析到NMOS器件全工艺流程设计的系统化仿真实例，让学生在熟悉半导体器件基本结构、载流子参数等性能的同时，深刻理解微电子器件的工艺过程。软件仿真直观的图形展现，既可加深学生课程知识理解，又能提升实践能力，为应用型人才的培养提供坚实基础。