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| 一种MEMS压力传感器的标定和温度补偿方法 | |
| 引用本文： | 沈晓春,刘利,周飞.一种MEMS压力传感器的标定和温度补偿方法[J].科技风,2013(12):34-35. |
| 作者姓名： | 沈晓春 刘利 周飞 |
| 作者单位： | 上海交通大学机械与动力学院;无锡市海鹰传感器公司 |
| 摘 要： | 本文介绍了一种MEMS芯片的压力传感器的标定和补偿方法,分析了传感器的结构原理和常见补偿方式,详述了采用的标定和补偿方法,并通过实验进行了验证,证明该方法是一种简便有效的方法,能够被广泛使用。 |
| 关 键 词： | MEMS 压力传感器 温度漂移 温度补偿 |
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