光刻技术的超常领域

本文着重对缝隙天线阵面的光刻技术进行了分析,对光刻技术方法研制缝隙天线阵面的技术途径、工艺实验的结果和存在的主要问题进行了论述。毫米波主动导引头缝隙天线阵面,具有面积大、缝隙多、精度高的特点,制造这样的缝隙天线阵面,在国内尚属首次。