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| 超声换能器ANSYS建模及谐响应分析 | |
| 引用本文： | 刘炜.超声换能器ANSYS建模及谐响应分析[J].中国科技信息,2007(13):63-64. |
| 作者姓名： | 刘炜 |
| 作者单位： | 湖南铁路科技职业技术学院,412000 |
| 摘 要： | 超声换能器是超声键合装备的一个重要组成部分,芯片的键合质量与超声换能器的响应有着非常密切的关系。本文通过有限元分析软件ANSYS进行建模,获得换能系统谐响应曲线,并利用多普勒测速仪验证有限元分析的结果。 |
| 关 键 词： | PZT换能器 ANSYS 有限元 谐响应 多普勒测速仪 |
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