关于PECVD加热速率对成膜效果的研究

PECVD是太阳能电池制造过程中非常重要的工序,它的作用是在晶体硅表面形成一层起钝化和减反射作用的膜。本文主要研究SINA设备链式PECVD加热速率与膜厚、折射率之间的关系。通过调整PECVD工艺腔室三个温区的加热速率且在其它条件都不变化的前提下观察加热速率对膜厚、折射率两参数的影响,其结果为:加热速率越快折射率越高,膜厚越小。