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| X射线光电子能谱荷电校准方法研究进展 | |
| 引用本文： | 刘殿方,乐韵琳,陈新,彭辉,冯均利,杨文超.X射线光电子能谱荷电校准方法研究进展[J].实验室研究与探索,2024(1):20-22+26. |
| 作者姓名： | 刘殿方 乐韵琳 陈新 彭辉 冯均利 杨文超 |
| 作者单位： | 1. 广西大学省部共建特色金属材料与组合结构全寿命安全国家重点实验室;2. 广西大学资源环境与材料学院;3. 深圳海关工业品检测技术中心 |
| 基金项目： | 广西高等教育本科教学改革工程项目(2022JGB107)；;广西自然科学基金项目(2020GXNSFBA297062)； |
| 摘 要： | X射线光电子能谱(XPS)测试结果通常存在误差，受环境、仪器等影响，测试所得到的样品结合能数值会偏移实际值。常用的C 1s峰校准方法在一些测量情况下存在一定的局限性，甚至获得的图谱会产生偏移或畸变。针对此问题，分析了表面充电原理以及C 1s峰校准方法的不适用情况，总结了多种荷电校准方法，并讨论了每个方法的应用条件及其优缺点。 |
| 关 键 词： | X射线光电子能谱 表面分析 荷电校准 畸变 |