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| 复杂型腔工模具表面硬质薄膜材料制备成套设备及关键工艺技术 | |
| 摘 要： | 该技术围绕脉冲直流等离子体化学气相沉积(PCVD)成套工业设备研制、PCVD制备硬质薄膜材料以及在工模具表面薄膜材料强化领域的关键应用等进行了系统研究,主要内容及特点如下： |
| 关 键 词： | 材料制备 硬质薄膜 关键工艺 成套设备 模具表面 复杂型腔 技术 等离子体化学气相沉积 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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