工艺案例在《微电子器件可靠性》中的运用与实践

概括国内外可靠性课程与可靠性专业的整体布局和设置状况。简要介绍《微电子器件可靠性》课程的特点,分析《微电子器件可靠性》课程中的核心模块和有机联系。以企业中通用型CMOS晶体管的生产制作为例,以生产过程中注入工艺参数Dvt、DNF、DP执行、成品的阈值电压电参数Vtn、Vtp测试等进行体验式教学,将核心模块中数学、半导体物理、芯片制造、管理等串联起来,构建了《微电子器件可靠性》课程中工艺案例的运用与实践。