影响直流反应溅射Al2O3薄膜质量的几个因素

通过实验讨论了影响直流反应溅射Ａｌ２Ｏ３薄膜质量的几个因素，得到了直流反射溅射Ａｌ２Ｏ３薄膜的最佳方案，并发现对于不同距离的基片，溅射的Ａｌ２Ｏ３薄膜与Ｓｉ界面有效面电荷具有不同的电性。