| 单层薄膜生长率实时检测系统的设计与分析 |
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| 引用本文： | 方小坤,戴亦宗.单层薄膜生长率实时检测系统的设计与分析[J].扬州职业大学学报,2009,13(3):35-37,41. |
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| 作者姓名： | 方小坤 戴亦宗 |
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| 作者单位： | 扬州职业大学,江苏,扬州,225009 |
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| 摘 要： | 基于反射光干涉测量法介绍了单层薄膜生长率实时检测系统的原理，建立了双光束干涉简化模型。进行了LD功率稳定闭环控制电路和探测器前置聚光镜的设计，并利用简化模型对膜厚检测的精度进行定量分析。
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| 关 键 词： | 单层薄膜生长率 实时检测 简化模型 精度分析 |
The Design and Analysis of Real-time Measurement System for Growth Rate of Monolayer Film |
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| FANG Xiao-kun,DAI Yi-zong.The Design and Analysis of Real-time Measurement System for Growth Rate of Monolayer Film[J].Journal of Yangzhou Polytechnic College,2009,13(3):35-37,41. |
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| Authors: | FANG Xiao-kun DAI Yi-zong |
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