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采用超紫外线技术制造计算机荩片的原型机问世
摘    要:英特尔、IBM和摩托罗拉公司与美国3个国家实验室合作,最近推出划时代的超紫外线光刻苡片制造设备。 这个集团日前在美国加州的桑迪亚国家实验室(SNL)正式展示了这部生产机器原型,期望它能带动芒片业下一阶段的增长。由这些公司集资逾2.5亿美元研发成功的苡片生产设备使用超紫外线(EUV)光刻技术,将创造出比传统光刻技术小20%~7%的电路. 据预测,到2006年,利用EUV技术生产的处理器速度将达到10Hz,是当今最快的奔腾4处理器(1.5Hz)的6倍以上.这部通称步进机(stepper)的苡片刻机器,至少4年后才会进入商品化附段,初期将可制造0.07微米的电路的苡片.

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