TiO2 薄膜光学特性研究

TiO2 纳米薄膜特殊的物理化学性质，特别是作为光物理材料、环境 污染治理中的光催化氧化催化剂有着广泛的应用前景而引起人们的很大兴趣。近 年来，人们对 TiO2 薄膜的光催化性能进行了大量的研究，但是相对而言，TiO2 纳米薄膜在可见光波段范围的光学性能方面的基础研究还有待加强。本研究采用反应射频磁控溅射法在 K9 抛光玻璃基体上制备二氧化钛薄膜，用椭偏仪对薄膜样品进行测试，获得椭偏位相参量Δ和椭偏振幅参量ψ。借助计算机通过迭代方法拟合分析得到薄膜的折射率和厚度等光学参数，结合实验参数 对结果进行讨论，最后得出结论。TiO2 纳米薄膜在可见光波段吸收小、是透明的，所以是用来构成一维光子晶体的理想组份，对其光学性能的基础研究为以后光子晶体的结构设计具有积极的意义。