| 全自动硅片传送装置设计 |
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| 引用本文： | 金红杰,钟善理,邓志涛. 全自动硅片传送装置设计[J]. 安徽职业技术学院学报, 2009, 8(2): 28-31 |
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| 作者姓名： | 金红杰 钟善理 邓志涛 |
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| 作者单位： | 杭州士兰集成电路有限公司,浙江,杭州,310018 |
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| 摘 要： | 半导体生产过程中，用吸笔从花篮取放硅片到显微镜下检测，存在着容易划伤硅片和取放效率低下两大问题。因此用机械手替代人工取放硅片的解决方案十分必要。文章介绍的全自动硅片传送装置用于手动显微镜的传片自动化。该装置利用51单片机为核心，控制步进电机带动机械手取放硅片。该装置用低廉的成本，实现了高效、便捷、实用性强等性能，具备很大的推广意义。
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| 关 键 词： | 硅片检测 自动显微镜 机械手 单片机 步进电机 |
Design of Auto Wafer Transfer Device |
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| JIN Hong-jie,ZHONG Shan-li,DENG Zhi-tao. Design of Auto Wafer Transfer Device[J]. Journal of Anhui Vocationcal Technical College, 2009, 8(2): 28-31 |
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| Authors: | JIN Hong-jie ZHONG Shan-li DENG Zhi-tao |
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| Abstract: | During the semiconductor process of production,to transfer the wafers between cassette and microscope by vacuum chuck has two problems which are easy scratch and low efficiency.So researching about using robot instead of vacuum chuck is necessary.The auto wafer detect device is made of manual microscope.Based on 51-MCU technique,the device controls step motor to drive the robot and transfer the wafers.The cost of the device is low,but the performance of the device is efficient,convenient,useful and so on.Th... |
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| Keywords: | wafer transfer auto load microscope robot MCU step motor |
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