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| 加快科技成果转化开创半导体清洗技术新纪元 | |
| 作者单位： | 山东大学光电材料与器件研究所 |
| 摘 要： | 加快科技成果转化开创半导体清洗技术新纪元山东大学光电材料与器件研究所清洗工艺是电子工业、特别是半导体工业中极为重要的一项工艺，如果没有有效的清洗工艺，就不会有今天迅猛发展的半导体产业。但多年来，半导体技术中的清洗工艺一直沿用四十多年前的高成本、强腐蚀... |
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