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| 微机电系统的未来趋势 | |
| 引用本文： | 李雪梅,王春玲.微机电系统的未来趋势[J].科教文汇,2016(4):186-187. |
| 作者姓名： | 李雪梅 王春玲 |
| 作者单位： | 安徽三联学院 |
| 基金项目： | 基于Multi-Agent煤矿安全监控系统研究,编号:2015Z003 |
| 摘 要： | 微机电系统是近代出现的一种微型化、电与机械结合新型技术,有着广泛的、深远的影响。本文根据目前最新研发状态,对微机电系统的未来某几个方面做出合理的猜测,具有很大的可行性。 |
| 关 键 词： | 微机电系统 机电结合 微型系统 |
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