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微结构的各种测试技术的研究现状和发展趋势
引用本文:
张彦奎.微结构的各种测试技术的研究现状和发展趋势[J].三门峡职业技术学院学报,2010,9(1):99-102.
作者姓名:
张彦奎
作者单位:
三门峡市锅炉压力容器检验所,河南,三门峡,472000
摘 要:
微结构的发展状况和微结构对现代社会起着重要作用,而微结构测试技术在微结构开发和应用中有着重要意义。
关 键 词:
微结构测试
发展趋势
电子散斑干涉
MEMS
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