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| 四氯化硅工业应用进展 | |
| 引用本文： | 叶发萍,解玉龙,宗冰,王体虎.四氯化硅工业应用进展[J].青海科技,2020,27(5). |
| 作者姓名： | 叶发萍 解玉龙 宗冰 王体虎 |
| 作者单位： | 青海民族大学,西宁 810007;亚洲硅业(青海)股份有限公司,西宁 810007;青海民族大学,西宁 810007;青海民族大学,西宁 810007;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司,西宁 810007;亚洲硅业(青海)股份有限公司,西宁 810007;青海民族大学,西宁 810007;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司,西宁 810007;青海省硅材料重点实验室,西宁 810007;亚洲硅业(青海)股份有限公司,西宁 810007 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 四氯化硅 三氯氢硅 氮化硅陶瓷 白炭黑 多晶硅 |
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