MBSE在光刻系统校准仿真中的应用

随着光刻系统复杂程度的提升,传统基于文档的系统开发方法,在保持设计文档间一致性及变更影响分析的困难程度也越发提升。特别是光刻系统涉及不同学科的工程模型,这些模型在文档载体中,不能完整得体现整个系统模型的设计结果。故本文采用基于模型的系统工程MBSE开发方法建立数字系统模型弥补传统方法存在的问题。文中采用的建模语言为SysML、使用Cameo System Modeler作为开发工具。以光刻系统中的校准模块为例,描述了MBSE在光刻系统校准仿真中的应用。