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硅单晶生长晶向校准对成品率和径向电阻率均匀度的影响

引用本文：	陈立登,张民杰.硅单晶生长晶向校准对成品率和径向电阻率均匀度的影响[J].科技通报,1990,6(1):6-8.

作者姓名：	陈立登张民杰

摘要：
关键词：	硅单晶晶向成品率径向电阻率
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