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AlInGaN/GaN异质结构材料生长及特性研究
引用本文:贾德宇.AlInGaN/GaN异质结构材料生长及特性研究[J].河南科技学院学报,2009,37(3):45-47.
作者姓名:贾德宇
作者单位:空军第一航空学院航空电子工程系,河南信阳464000
摘    要:AlInGaN四元合金具有独立控制禁带宽度和晶格常数的特性,利用这一特性可以实现性能更为出色的异质结构材料.利用MOCVD技术生长获得了AlInGaN/GaN异质结构,通过汞探针C—V测量和Hall效应测量,发现其电学特性明显优于常规AlGaN/GaN异质结构,通过XDR和AFM分析,发现其势垒层结晶质量十分出色,但表面形貌与常规异质结构相比还存在一定差距.

关 键 词:AlInGaN/GaN  异质结构  材料生长

Study on growth and characteristic of alInGaN/GaN heterostructures
Abstract:
Keywords:AlInGaN/GaN
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