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| 纳米级微进给平台设计与研究 | |
| 引用本文： | 阎兵.纳米级微进给平台设计与研究[J].天津职业技术师范学院学报,2000,10(3):15-17. |
| 作者姓名： | 阎兵 |
| 作者单位： | 天津职业技术师范学院，天津300222 |
| 摘 要： | 精密微进给平台是实现纳米级定位与加工的关键技术。本介绍了基于PZT的纳米级微进给平台设计与研究的现状，指出下一步的研究方向和需要解决的关键问题即：多作动器驱动的微进给平台的结构设计及其考虑动力学特性的闭环反馈控制算法。 |
| 关 键 词： | 压电微位移器 微进给平台 |
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