| 真空镀膜机控制系统的温控改造 |
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| 引用本文： | 刘嘉滨,沈学浩,王晓玲.真空镀膜机控制系统的温控改造[J].实验室研究与探索,2014(12):49-53. |
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| 作者姓名： | 刘嘉滨 沈学浩 王晓玲 |
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| 作者单位： | 上海交通大学物理与天文系;上海交通大学媒体与设计学院; |
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| 摘 要： | 在有限的教学经费及传统真空镀膜设备不报废的条件下,结合实际实验教学需要,对设备进行针对性的改造,使其能最大化使用。DM-240型真空镀膜机的扩散泵采用的是水冷却系统,但在实验结束过程中,需要人工判断扩散泵是否冷却,然后进行设备与水路系统的关闭操作,并且该过程占据相当的实验时间,影响到实验教学质量。针对扩散泵冷却控制系统进行温控自动化改造,利用温度控制和阀门控制设备,实现对扩散泵冷却系统温度的监控,并可自动关闭水冷却系统与机组设备,做到无人值守。不仅为实验教学提供了充足的实验时间,也可有效地避免因误操作而造成对设备的损坏。
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| 关 键 词： | 真空镀膜 真空泵 扩散泵 |
Control System Reforming of Vacuum Coating Equipment on Temperature |
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