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| 微细加工技术—光刻技术简介 | |
| 摘 要： | 随着信息时代的到来,信息高速公路、网络技术、移动通信技术和多媒体技术的飞速发展,促进了高集成度、超高速、超高频集成电路及器件的研制与开发,特征尺寸越来越细,加工尺寸进入深亚微米、百纳米以至纳米级.图1是新型计算机硬盘读头的平面示意图,其特征尺寸小于1微米. |
| 关 键 词： | 微细加工技术 光刻技术 电子束曝光技术 微电子工艺技术 |
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