|
|||||
|
|
| 跨世纪的高新技术：薄膜 | |
| 引用本文： | 李贻杰.跨世纪的高新技术：薄膜[J].百科知识,1994(9):49-50. |
| 作者姓名： | 李贻杰 |
| 作者单位： | 北京大学物理系 |
| 摘 要： | 薄膜,是指通过物理或化学过程,以原子、分子或离子形式受控地凝结于某一基体材料上所形成的固体材料。处于薄膜形态的物质,与对应的体材料相比,具有其一系列独特性质。所以,在现代微电子学领域中,薄膜器件正在发挥着越来越大的作用。事实上,薄膜科学与器件技术已经成为现代科学技术中不可缺 |
| 关 键 词： | 薄膜 薄膜材料 半导体材料 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |