集成电路工艺学实验教学改革探讨

集成电路工艺学是沈阳化工大学电子科学与技术专业光电子方向的专业主干课,其课程内容多,知识面广,应用广泛,内容更新速度快。针对实验教学中教育资源利用率较低、学生自主创新能力不高的问题,本文将结合集成电路工艺学实验这门课的特点,提出了在现有实验平台的基础上,教师结合学生知识水平,巧妙地对学生进行分组实验,发挥学生主观能动性,尤其在实验内容和方式等方面做了新的尝试和探索。在实际教学过程中取得了良好的教学效果。