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钕掺杂氧化锌薄膜的形貌分析
作者姓名:张修兴  文军  李芳菊
作者单位:渭南师范学院,物理系,陕西,渭南,714000
摘    要:通过XRD和AFM分析了Nd掺杂ZnO薄膜的表面形貌,表明随着Nd掺杂量的增加,ZnO薄膜的结晶度变差,薄膜表面变得粗糙,晶格畸变增大。

关 键 词:钕掺杂  ZnO薄膜
文章编号:1671-1351(2007)05-0032-03
修稿时间:2007-04-10
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