高精度碳膜电阻温度系数的研究

随着微电子技术的飞跃发展,对薄膜集成电路,半导体集成电路的功能、集成度、精度、可靠性和使用寿命等,都提出了越来越高的要求。薄膜混合集成电路中的薄膜电阻无源器件,具有参数精度高、温度系数小、噪声系数低、高频特性好、可靠性高等特点,得到了广泛应用。本文主要论述了薄膜电阻的制作工艺对温度系数的研究。