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| 精密测量仪器在超精密加工实验室中的作用 | |
| 作者单位： | ;1.广东工业大学广东省微纳加工技术与装备重点实验室;2.广东工业大学广东省创新方法与决策管理系统重点实验室 |
| 摘 要： | 实验室不仅需要配置高水平的超精密加工装备,还需要相应的精密测量仪器。如何正确而有效地利用加工装备和测量仪器,是超精密加工技术专业本科生和研究生必须掌握的能力。利用白光干涉仪和扫描电子显微镜在超精密加工机理研究中的应用,分析精密测量仪器在超精密加工实验室中的重要作用,提出一个具体的方案解决目前精密仪器数量少而学生多的实际问题。 |
| 关 键 词： | 超精密加工 精密测量仪器 白光干涉仪 扫描电镜 |
Function of precision measuring instruments in ultra-precision machining laboratory |
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