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| 氧化锌声表面波气体传感器对氨气的检测 | |
| 作者单位： | ;1.电子科技大学物理电子学院 |
| 摘 要： | 以乙酸锌水溶液为前驱液,采用旋涂法在石英声表面波器件上制备了氧化锌纳米薄膜,研究退火时间对气体声表面波传感器的频率响应及其机制的影响。利用X射线衍射仪对氧化锌纳米薄膜的晶体结构进行了分析,并利用扫描电镜对其表面形貌进行了表征。利用谐振电路测试了声表面波传感器对氨气的频率响应特性。实验中将声表面波器件分为A/B两组进行实验:A组退火1h,制备的气体传感器检测时出频率偏移△f_A0;B组经过5 h退火处理,输出频率偏移△f_B分两个阶段,初始△f_B0然后减小变为△f_B0。对所得的实验结果进行了理论分析。 |
| 关 键 词： | 氧化锌纳米薄膜 声表面波传感器 退火 频移 |
Ammonia Detection of Zinc Oxide SAW Gas Sensor |
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