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| 基于建筑结构探测的微传感器设计 | |
| 作者单位： | ;1.福建农林大学交通与土木工程学院 |
| 摘 要： | 为了改进微光机电系统中加速度集成化差、灵敏度低问题,采用过振保护、稳定性较好固支梁进行加速度传感系统设计。通过环形谐振腔和直波导耦合的方式实现微环谐振腔设计,利用控制波导长度参数实现耦合稳定性、强度等调节。理论分析了实现光强谐振、光放大的过程,固定的固支梁系统,得到了微环谐振腔波长,模型分析得出通过波长变化得到检测微环输出端的光谱变化。传感特性分析表明:微环谐振腔的输出光强谐振峰值高,自由频范围明显小,有利于测量高精度变化量;加速度变化量与输出光谱表现为线性关系,设计的加速度传感系统灵敏度可以达到50 pm/g。 |
| 关 键 词： | 微光机电系统 固支梁 谐振腔 加速度 微传感器 |
Micro Sensor Design Based on Structure Detection |
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