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| 极紫外光源:极紫外光刻技术的"源头" | |
| 引用本文： | 卞志昕.极紫外光源:极紫外光刻技术的"源头"[J].中国科技信息,2006(10):309-309,336. |
| 作者姓名： | 卞志昕 |
| 摘 要： | 有一种说法是，现代文明是电子芯片驱动的。从航天事业到日常生活，电子芯片对于现代文明的影响无处不在。而这所有的芯片，又无一例外都是光刻工艺的产物。编者按] |
| 关 键 词： | 极紫外光源 极紫外光刻技术 电子芯片 光刻工艺 |
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