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极紫外光源:极紫外光刻技术的"源头"
引用本文:
卞志昕.极紫外光源:极紫外光刻技术的"源头"[J].中国科技信息,2006(10):309-309,336.
作者姓名:
卞志昕
摘 要:
有一种说法是,现代文明是电子芯片驱动的。从航天事业到日常生活,电子芯片对于现代文明的影响无处不在。而这所有的芯片,又无一例外都是光刻工艺的产物。编者按]
关 键 词:
极紫外光源
极紫外光刻技术
电子芯片
光刻工艺
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