纳米复合材料三维微纳结构加工研究取得重要进展

硅是推动人类文明大步前进的现代计算机技术的核心，可能在未来的计算机技术等方面起到关键作用，所以硅的研究历来就是围际重大研究领域。半导体表／界面是未来关键器件中复合结构的基础，Si（111）-7x7重构表面相又是半导体重构表面的代表，因此Si（111）-7x7重构表面相及其相变动力学现象的研究，一直是一个国际重大课题。