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| 子孔径拼接在超精密平面加工中的应用 | |
| 作者单位： | ;1.中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 |
| 摘 要： | 在超精密平面加工过程中,面型精度的检测水平往往限制着精度的进一步提高,常规机械加工的测量仪器一般通过打点方式测量精度,能检精度达到μm级,对于面型精度要求更高的工件往往不能满足要求。引入平面干涉仪的光学检测手段,提高能检精度。对于大尺寸工件,采用子孔径拼接技术还原整个面型,节约成本。检测结果指导加工,从而进一步提高工件面型精度。实验结果证明子孔径拼接后面型和实际面型一致,适用于此类加工的检测。 |
| 关 键 词： | 光学检测 超精密加工 子孔径拼接 陶瓷导轨 |
Application of Subaperture Stitching in Ultra-precision Plane Processing |
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