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| 紫外光刻干膜微流控模具制作研究 | |
| 作者单位： | ;1.华北科技学院机电工程学院;2.哈尔滨工业大学机电工程学院 |
| 摘 要： | 提出了一种基于感光干膜的微流控模具制作方法。以50μm厚的感光干膜为主要原材料,设计并制作了不同微流道结构的干膜微流控模具。针对紫外曝光和显影主要环节的关键实验参数进行了选择优化。利用该工艺制作的干膜微流控模具,完成了不同结构和功能的微流控芯片的封装及应用。结果表明,与传统光刻微流控模具制作方法相比,干膜微流控模具制备工艺具有操作简单快速、成本低、无需昂贵实验设备和专业操作人员,且制作后的干膜微流控模具边界规则、图形分辨率高,应用效果良好。 |
| 关 键 词： | 干膜 微流控模具 曝光 显影 |
Research on tabrication of microfluidic die for ultraviolet lithography dry film |
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| Keywords: | |