| 大直径金刚石膜等离子淀积炉的方案设计 |
| |
| 引用本文： | 罗嘉,黄步玉,陈建四. 大直径金刚石膜等离子淀积炉的方案设计[J]. 中山大学学报论丛, 2002, 22(5): 182-184 |
| |
| 作者姓名： | 罗嘉 黄步玉 陈建四 |
| |
| 作者单位： | 1. 广州市科通机电有限公司,广东,广州,510610
2. 广州有色金属研究院,广东,广州,510651 |
| |
| 摘 要： | 金刚石薄膜由于其极高的硬度和化学稳定性 ,并且透红外光特性和电阻率高的特性 ,广泛应用于机械、电子、光学、医学等领域。对采用氩氢等离子体电弧 (即上电极 )与碳氢化物在水冷成膜台 (即下电极 )上淀积金刚石膜的结构设计方案作较详尽的探讨 ,以物元分析法设计出较合理的传动方案 ,解决了工艺中的难题
|
| 关 键 词： | 金刚石膜 等离子枪 淀积炉 |
| 文章编号： | 1007-1792(2002)05-0182-03 |
| 修稿时间： | 2002-07-09 |
P-CVD DF Project |
| |
| LUO Jia ,HUANG Bu_yu ,CHEN Jian_si. P-CVD DF Project[J]. Studies in Logic, 2002, 22(5): 182-184 |
| |
| Authors: | LUO Jia HUANG Bu_yu CHEN Jian_si |
| |
| Affiliation: | LUO Jia 1,HUANG Bu_yu 2,CHEN Jian_si 2 |
| |
| Abstract: | DF is widely used in machinery,electronics,optica and medical science due to yts high hardness,chemical stability,special characteristic of infrared penetration and high electrical resistance.This article gives a detailed account of the structure designing of depositing F on water_frozen film table(ie lower electrode) with plasma electric arc(ie upper electrode) and carbon_optical analysis,which enable to solve problems in process. |
| |
| Keywords: | DF plasma depositional furnace |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
