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| Al2O3过渡层对ZnO薄膜性质的影响 | |
| 引用本文： | 张伟,李敏君.Al2O3过渡层对ZnO薄膜性质的影响[J].黑龙江科技信息,2011(12):18-18. |
| 作者姓名： | 张伟 李敏君 |
| 作者单位： | 1. 牡丹江师范学院新型碳基功能与超硬材料重点实验室,黑龙江牡丹江,157012;牡丹江师范学院计算机科学与技术系,黑龙江牡丹江,157012 2. 牡丹江师范学院新型碳基功能与超硬材料重点实验室,黑龙江牡丹江,157012 |
| 基金项目： | 牡丹江师范学院科研项目，牡丹江师范学院教改项目 |
| 摘 要： | 采用磁控溅射（Sputtering）方法在Si（100）上成功生长了Al2O3薄膜,并以此为衬底,实现了ZnO薄膜的低温准外延生长。通过ZnO薄膜的表征。表明,ZnO薄膜能在Al2O3过渡层上沿c轴准外延生长,采用适当的Al2O3过渡层后,其电学性质也有大幅提高。 |
| 关 键 词： | 氧化锌薄膜 三氧化二铝过渡层 薄膜性质 |
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