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| 采用体硅制造法的光波导压力传感器的一种初步设计 | |
| 引用本文： | 陈志铁.采用体硅制造法的光波导压力传感器的一种初步设计[J].厦门广播电视大学学报,2004(1):61-64. |
| 作者姓名： | 陈志铁 |
| 摘 要： | 随着波导材料的研究和进展,作者采用新的波导材料设计出了一种波导式压力传感器,该文章就光波导压力传感器的原理和特性作了一个简要阐述,对它的工艺流程作了详细的描述。 |
| 关 键 词： | 光波导压力传感器 硅微机械法 结构 原理 制造工艺 特性 |
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