SAW氢传感器的有限元仿真与分析

介绍了声表面波延迟线型氢传感器的有限元模型,并在ANSYS8.0平台上对此进行了仿真。压电基底采用Y-X切铌酸锂(LiNbO3),敏感薄膜为金属钯膜。通过比较钯膜吸收氢气前后输出端电压的变化,得出了钯膜的不同参数对系统输出的影响,钯膜的弹性模量变小使输出电压的幅值增大,延迟时间增长;密度变小使输出电压的幅值变小,延迟时间略有缩短。分析结果为改进敏感薄膜的性能提供了有益的借鉴。