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| GaAs晶体缺陷与外延层缺陷显示研究 | |
| 引用本文： | 梁秀红,鞠玉林,等.GaAs晶体缺陷与外延层缺陷显示研究[J].河北工业大学成人教育学院学报,2000,15(1):32-33,45. |
| 作者姓名： | 梁秀红 鞠玉林 等 |
| 作者单位： | 河北工业大学!天津300130 |
| 摘 要： | GaAs衬底与外延层质量，尤其是晶体的完整性严重影响着以其为材料的半导体器件的性能，而超声AB的腐蚀法是一种能准确快速的显示GaAs体缺陷与器件外延层缺陷的检测法，本文提供了超声AB的腐蚀法显示GaAs体缺陷与外延层缺陷的实例照片与工艺条件。并对其进行了分类，充分显示了它良好的可靠性。 |
| 关 键 词： | 外延层缺陷 检测方法 超声AB腐蚀法 砷化镓晶体 半导体材料 晶体缺陷 |
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