微悬臂梁传感器在气体检测方面的应用

本文对微悬臂梁传感器在三类气体检测领域中的研究现状进行梳理,对微悬臂梁检测的工作原理和工作模式进行了叙述,并对该类传感检测技术的前景做了展望,为微机电系统中传感技术的应用研究提供参考。