系统阻尼对微型机械传感器性能的影响研究

系统频率稳定性与共振品质因数非常重要,二者是描述机械共振的关键性能指标。本文通过研究发现,降低品质因数能够提高微型机械共振传感器的频率稳定性。通过在一定的带宽下展示传感器的温度分辨率,指出低带宽中增加系统阻尼可带来更高的稳定性和传感器分辨率,从而可以对研发高性能超灵敏共振器提供帮助。