质谱仪用离子泵供电和真空控制系统的研制

基于质谱仪小型化和集成化的需求,设计了一套离子泵供电和真空控制系统,该系统分为高压供电和真空控制两部分。高压供电部分主要通过集成到电路板上的高压模块来实现。真空控制部分主要通过以嵌入式处理器PIC32为主体的电路板实现真空度的采集以及减压泵等部件的开关控制。该系统作为配套设备已经在质谱仪上经过长期测试,性能可靠。