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| 微/纳结构加工技术 | |
| 引用本文： | 陈博.微/纳结构加工技术[J].黑龙江科技信息,2008,30(30). |
| 作者姓名： | 陈博 |
| 作者单位： | 哈尔滨工业大学资产投资经营有限责任公司,黑龙江 哈尔滨,150006 |
| 摘 要： | 微/纳制造领域已经成为衡量一个国家科技水平的重要标志之一,微/纳结构加工技术的发展和应用将给先进制造技术和超精密加工领域带来革命性的变革,主要介绍微/纳制造发展原因、特点及主要加工技术. |
| 关 键 词： | LIGA技术 三束(电子、离子、激光) 加工技术 |
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