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| 多层石墨烯在飞秒激光作用下的损伤 | |
| 作者单位： | ;1.清华大学机械工程系;2.清华大学摩擦学国家重点实验室 |
| 摘 要： | 使用飞秒激光对化学气相沉积(CVD)法制备的多层石墨烯进行辐照,得到了多层石墨烯的单脉冲破坏阈值为0.22mW;利用光学显微镜、原子力显微镜(AFM)和拉曼光谱对加工前、后的试样进行表征,阐述了飞秒激光对多层石墨烯的烧蚀损伤效应,发现飞秒激光在石墨烯微图案化加工方面具有潜在的优势,能够达到亚微米级的加工精度;同时在烧蚀边缘区域,多层石墨烯出现减薄现象。 |
| 关 键 词： | 特种加工工艺 多层石墨烯 飞秒激光 烧蚀 损伤 |
Damage on multi-layer graphene by femtosecond laserablation |
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