平面干涉仪测立方体直角方法误差分析

用平面干涉仪测量立方体直角的方法方便快捷,适应于大批量的方体加工。对影响平面干涉仪测立方体直角方法误差影响因素进行了分析,确定了面形误差与角度相互配置的合理允差值。为方体加工中角度控制及测量提供了科学理论依据。