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| JXA—840扫描电子显微镜故障检修二例 | |
| 引用本文： | 徐容.JXA—840扫描电子显微镜故障检修二例[J].实验室研究与探索,2001,20(5):80-81. |
| 作者姓名： | 徐容 |
| 作者单位： | 华东师范大学电镜中心 |
| 摘 要： | 对扫描电子显微镜图像出现畸形和真空控制系统故障的实例进行了分析和检修，并介绍了DP泵温度检测开关的替换方法。 |
| 关 键 词： | 扫描电子显微镜 故障分析 检修 图像 畸形 真空控制系统 实验设备 |
| 文章编号： | 1006-7167(2001)05-0080-02 |
| 修稿时间： | 2000年8月30日 |
Two Cases for Repairing of JXA-840 Scanning Electron Microscope |
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