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| 具有温度高灵敏度的微型传感材料研究 | |
| 引用本文： | 程卿.具有温度高灵敏度的微型传感材料研究[J].天津工程师范学院学报,2000(2). |
| 作者姓名： | 程卿 |
| 摘 要： | 由我院自动化系李兴副教授等人承担的科研项目“具有温度高灵敏度的微型传感材料研究” ,于２０００年４月２８日通过了天津市科委组织并主持的专家鉴定。该项目属对温度变化具有高敏感材料特性及微机械中微型流量传感器的研究 ,采用半导体工艺技术和特殊的掺金工艺 ,通过硅材料中掺入金元素 ,实验发现了材料的电阻率随温度变化并不遵守硼掺杂材料依赖于温度的幂次项 ;后经理论研究得知 ,特殊的掺金工艺得到的硅材料的电阻率主要依赖于温度的指数项 ,并从理论上对成千倍地提高了该材料的温度敏感性质进行了解释。该材料在半导体工艺技术、传… |
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