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| 基于浮栅型薄膜晶体管的光控多值存储器 | |
| 引用本文： | 李博文,张国成,秦世贤,邢俊杰,李志达,赖秉琳.基于浮栅型薄膜晶体管的光控多值存储器[J].福建工程学院学报,2023(6):580-584. |
| 作者姓名： | 李博文 张国成 秦世贤 邢俊杰 李志达 赖秉琳 |
| 作者单位： | 福建理工大学微电子技术研究中心 |
| 基金项目： | 福建省自然科学基金面上项目(2021J011082)； |
| 摘 要： | 为了解决一般存储器存储密度低、数据保持能力弱及保密性差等问题，基于浮栅型薄膜晶体管制备了一种性能受光调制的信息存储器，该存储器的存储窗口大于60 V,在特定条件下可呈现“1”“中间态”“0”3种电流水平，采用PN共混的有源层提高了器件的开关比。该存储器在提高数据储存密度、光学信息加密存储方面具有较强的发展潜力，可为新一代智能电子设备的信息存储提供助力。 |
| 关 键 词： | 浮栅型存储器 薄膜晶体管 光调制 PN共混 |