美国开发出光电子元件集成制造技术

美国国家标准与技术研究所最新一期周报介绍说，美国数字光学公司开发出了将电子和微型光电子元件集成到半导体晶片上的新技术。 数字光学公司开发出的这项新技术，使复杂光电子器件的制造达到了前所未有的自动化和集成化水平。这项新技术首先有可能被应用于短程数据通信设备和高度集成传感器组件的生产上，最终可望用于制造出新一代低成本、高性能光电子系统。 高性能光电子元件是实现电－光和光－电转换的元件，在通信领域应用广泛。但这些元件目前主要靠手工装配，成本昂贵。而采用数字光学公司开发出的新技术，可以首先通过光刻法将无源…